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用于半導(dǎo)體硅片厚度檢測設(shè)備-非接觸式測厚儀 OZUMA22簡介

發(fā)布時間:2021-10-27 點擊量:2047

用于半導(dǎo)體硅片厚度檢測設(shè)備-非接觸式測厚儀 OZUMA22

 

<使用>

半導(dǎo)體用晶圓(各種材料) 硅Si.GaAs 砷化鎵等,玻璃、金屬、化合物等的高精度非接觸式測厚(非接觸式測厚)

<特點>

1. 1. 通過空氣背壓法可以進行非接觸式測厚(非接觸式測厚),不會造成劃痕和污染等損壞
不依賴于薄膜和顏色光澤等材料,可以輕松進行高精度的非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量)
。在潮濕時可以進行高精度的非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量)
。即使是鏡面透明或半透明,也可以毫無問題地進行高精度的非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量)
。由于采用上下測量噴嘴進行測量,因此
   可以準(zhǔn)確測量“厚度”,不受被測物體“滑行”引起的抬升的影響。
  (“雪橇”測量也可以作為選項(* 1))
6. 由于操作簡單,因此可以非常輕松地進行測量和校準(zhǔn)(* 2)。

<測量原理>

精確控制上、下測量噴嘴的背壓,噴嘴定位使噴嘴與被測物體之間的間隙恒定,并與預(yù)先用基準(zhǔn)規(guī)校準(zhǔn)的值進行比較計算處理對被測物體進行測量操作,可精確確定厚度。

測量原理圖


<性能>

  分辨率 0.1 μm
  重復(fù)精度 10 次重復(fù) 連續(xù)測量時的標(biāo)準(zhǔn)偏差 (1σ) 0.3 μm 或更小
  測量范圍 max. 10mm (* 3)
  供能電源 AC100V 50 / 60Hz 3A
            潔凈空氣 0.4MPa 20NL/min. (*4)


<基本配置>
標(biāo)準(zhǔn)的非接觸式測厚儀(非接觸式測厚儀)是一組以下設(shè)備。
(1) 非接觸式測厚儀(非接觸式測厚儀)主體 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 1 套
②測量臺(安裝臺) ? ? ? ? 從附接“表型”的選擇·
········1組③控制箱(分離型)············1個
④手操作開關(guān)BOX········ · · · · · · 1套

⑤ 顯示器(7"彩色液晶觸摸屏)或用于測量控制的個人電腦???????????1套
⑥連接電纜??????????????????? ? ? 1 套
⑦ 校準(zhǔn)規(guī)(規(guī)定厚度) ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 1 個
⑧ 測量控制的標(biāo)準(zhǔn)軟件 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?? ? ? ? ? ? ? ? ?
除上述以外,還可以根據(jù)用途從“Option list”中選擇可選產(chǎn)品?!?/span>

(筆記)

* 1 根據(jù)翹曲的程度和工件的剛性,可能無法測量翹曲 
    。詳情請聯(lián)系我們。
* 2 校準(zhǔn)時,也可以使用市售的塊規(guī)。
* 3 測量范圍最大標(biāo)準(zhǔn)機。雖然是0.10mm,但也可以選擇10mm以上
   ?。ǖ牵瑴y量工作范圍為10mm)
*4 清潔空氣從測量噴嘴直接吹到被測物體上,所以要注意空氣質(zhì)量。
    測量壓力為15至20 KPa。

 


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